V век до н.э., Греческий философ Демокрит (отец нанотехнологий): впервые использовал слово «атом» для описания самой малой частицы вещества
1905 г., швейцарский физик Альберт Эйнштейн: опубликовал научную работу, в которой показал, что молекула сахара имеет размер порядка 1 нм
1931 г., немецкие физики Макс Кнолл и Эрнст Руска: создали электронный микроскоп, который впервые позволил исследовать нанообъекты
1968 год, Альфред Чо и Джон Артур: сотрудники научного подразделения американской компании Bell, разработали теоретические основы нанотехнологии при обработке поверхностей исторические вехи становления нанотехнологий
1974 г., японский физик Норио Танигучи: ввел в научный оборот слово «нанотехнологии», которым предложил называть механизмы размером менее одного 1 мкм
1981 г., швейцарские физики Герд Бинниг и Генрих Рорер: сканирующий туннельный микроскоп прибор, позволяющий осуществлять воздействие на вещество на атомарном уровне. Нобелевская премия мира по физике за создание туннельного микроскоп (1986 г.)
1985 год., американские физики Роберт Керл, Хэрольд Крото, Ричард Смэйли: создали технологию, позволяющую точно измерять предметы диаметром в один нанометр 1986 г., американские физики Герд Биннинг, Кельвин Куэйт и Кристофер Гербер : создан сканирующий атомно - силовой микроскоп, позволяющий осуществлять взаимодействие с любыми материалами, а не только с проводящими исторические вехи становления нанотехнологий
1986 г., американский футуролог Эрик Дрекслер: опубликовал книгу, в которой предсказывал, что нанотехнология в скором времени начнет активно развиваться. Нанотехнология стала известна широкой публике
1989 г., Дональд Эйглер, сотрудник компании IBM, выложил название своей фирмы 35 – ю атомами ксенона 1993 г., в США начали присуждать Фейнмановскую премию, которая названа в честь физика Ричарда Фейнмана, который в 1959 году произнес пророческую речь о том в лекции «Там, внизу, ещѐ много места» ("There is plenty of space on the bottom"), что многие научные проблемы будут решены лишь тогда, когда ученые научатся работать на атомарном уровне.
В 1965 году Фейнману была присуждена Нобелевская премия по физике «За исследования в сфере квантовой электродинамики» (ныне это одна из областей нанонауки)
1998 г., голландский физик Сеез Деккер: создал нанотранзистор на основе нанотехнологий 1999 г., американские физики Джеймс Тур и Марк Рид: определили, что отдельная молекула способна вести себя так же, как молекулярные цепочки
2000 г., Администрация США поддержала создание Национальной инициативы в области нанотехнологии (National Nanotechnology Initiative). Нанотехнологические исследования получили государственное финансирование, первый транш которого составил $ 500 млн.
В 2002 г. сумма ассигнований была увеличена до $ 604 млн. В 2003 г. "Инициатива" запросила $ 710 млн.
2004 г. правительство США приняло решение увеличить финансирование научных исследований до $ 3,7 млрд.
В целом, мировые инвестиции в нано в 2004 году составили около $ 12 млрд.
В 2010 году физики Андре Гейм и Константин Новоселов из Манчестерского университета в Великобритании получили Нобелевскую премию по физикеза открытия в области применения графена.
2018 год, ученые Научно-Производственного Объединения Теслар разработали технологию, получившую название "Зеленый" графен. Это природоподобная технология переработки отходов всех типов (включая токсичные) в экологичные наноматериалы с заданными свойствами (графен и наноматериалы на его основе).
2020 год, Ученые, занятые в программе прикладной физики Университета Райса, Хьюстон, Техас, США доложили об успехах в развитии технологии превращения углеродсодержащих отходов в графен. Технология получает название "Флэш" графен.