V век до нашей эры, греческий философ Демокрит (отец нанотехнологий): впервые применил слово «атом» для описания мельчайших частиц материи.
1905 г., швейцарский физик Альберт Эйнштейн: опубликовал научную статью, в которой показал, что размер молекулы сахара составляет около 1 нм.
1931 г., немецкие физики Макс Кнолль и Эрнст Руска: создали электронный микроскоп, который впервые позволил изучать нанообъекты.
1968 год, Альфред Чо и Джон Артур: сотрудники научного подразделения американской компании Bell, разработали теоретические основы нанотехнологий в обработке поверхностей. Исторические вехи в развитии нанотехнологий.
1974, японский физик Норио Танигучи: ввел в научный оборот слово «нанотехнология», которым он предложил называть механизмы размером менее 1 микрона.
1981, швейцарские физики Герд Бинниг и Генрих Рорер: устройство сканирующего туннельного микроскопа, которое позволяет влиять на материю на атомном уровне. Нобелевская премия мира по физике за создание туннельного микроскопа (1986)
1985, американские физики Роберт Керл, Гарольд Крото, Ричард Смейли: создали технологию, позволяющую точно измерять объекты диаметром в один нанометр. 1986, американские физики Герд Биннинг, Кальвин Куэйт и Кристофер Гербер: был создан сканирующий атомно-силовой микроскоп. что позволяет взаимодействовать с любыми материалами, а не только с теми, которые определяют исторические вехи становления нанотехнологий.
1986, американский футурист Эрик Дрекслер: опубликовал книгу, в которой предсказал, что вскоре нанотехнологии начнут активно развиваться. Нанотехнологии стали известны широкой публике
1989 г., Дональд Эйглер, сотрудник IBM, опубликовал название своей компании с 35 атомами ксенона. 1993 г. США начали присуждать Премию Фейнмана, названную в честь физика Ричарда Фейнмана, который в 1959 г. произнес пророческую речь об этом в лекция «На дне много места» о том, что многие научные проблемы будут решены только тогда, когда ученые научатся работать на атомном уровне.
В 1965 году Фейнман был удостоен Нобелевской премии по физике «За исследования в области квантовой электродинамики» (сейчас это одна из областей нанонауки).
1998 год, голландский физик Видит Деккер: создал нанотранзистор на основе нанотехнологий. 1999 год, американские физики Джеймс Тур и Марк Рид: определили, что отдельная молекула может вести себя так же, как молекулярные цепи.
В 2000 г. администрация США поддержала создание Национальной инициативы по нанотехнологиям. Исследования в области нанотехнологий получили государственное финансирование, первый транш которого составил 500 миллионов долларов.
В 2002 году ассигнования были увеличены до 604 миллионов долларов. В 2003 году Инициатива запросила 710 миллионов долларов.
В 2004 году правительство США решило увеличить финансирование исследований до 3,7 миллиарда долларов.
В целом глобальные инвестиции в нанотехнологию в 2004 году составили около 12 миллиардов долларов.
В 2010 году физики Андре Гейм и Константин Новоселов из Манчестерского университета в Великобритании получили Нобелевскую премию по физике за свои открытия в области применения графена.
В 2018 году
ученые из Научно-производственного Теслар разработали технологию под названием «Зеленый» графен. Это природная технология переработки всех видов отходов (в том числе токсичных) в экологически чистые наноматериалы с заданными свойствами (графен и наноматериалы на его основе).
2020 г., ученые программы прикладной физики Университета Райса, Хьюстон, Техас, США, сообщили о прогрессе в технологии преобразования углеродсодержащих отходов в графен. Технология получила название «Flash» графен.